機械所製程聯網技術部經理范逸之：將半導體的成功經驗同步擴散到其它的產業，促進全球化發展

「機械所製程聯網技術」是從半導體設備資料的取得、資料的傳輸以及最後資料的處理，整個過程做最佳化服務。過去，半導體在台灣一直蓬勃成長，但是很多設備來自國外。隨著半導體產業發展，許多半導體設備使用者開始思考：「是否應該採用國產設備？」但是國產設備進到半導體，會遇到半導體製程設備連線標準的問題。

因此，機械所在十多年前，開始研發「讓設備的資料能依半導體產業標準的協定能夠往上送」的技術。期望能在國內落實「通信標準的技術」，幫助台灣設備商製造符合半導體業界通信標準的技術。

截至目前為止，工研院機械所協助台灣上百家的設備商建立這個技術，且順利進入半導體廠。已提供超過60多種各式各樣半導體專用的服務設備，而選用的機組， 是讓所有設備都可以相連，並能夠及時回應伺服器所問的訊息，讓資料往返不漏封包，非常穩定。我們也將「機械所製程聯網技術」擴展到其它產業，進一步協助客戶在資訊處理及最後決策的形成有所銜接。後來機械所開發出「預造整段」技術，再結合工研院巨量資料中心的大數據技術，成為我們得獎團隊最核心的技術內容。

工研院不是營利單位，因此從「產值的角度」來看「技術的開發」，蜇伏十幾年，從沒有可能性到市場起來，我們的產值就出來了！因此，我們可以很自豪的說「我們有幫到台灣的廠商」，我們提出的辦法，一年就可創造價值5億多台幣。這樣的串聯方式，其實是很重要的催生角色。

半導體製程中，必須用到非常貴的「MOCVD有機金屬化學气相沉積法」，機械所與巨量資料中心合作，先把通訊抓到再做解析，然後與機台上所有參數一一對應後，才把資料往後送，得到預兆診斷跟大數據的結合，建立一套系統。然後告訴廠商設備，哪些參數正在產生好的、不好的變化。目前這個專業技術，已移交給台灣的廠商使用。

現今的台灣，除半導體外，像是PCB印刷电路板、金屬加工、航太等產業，都是非常夯的產業，台灣必須朝高質化發展，期望國內這些產業運用我們的技術，持續提升產能及技術加值、整合設備與系統的能力，並協助國內廠商把產品賣到國外。目前我們與台灣的設備商結合，到臨近東南亞的市場試水溫，期盼往後陸續扶持其它廠商擴展到全球市場。

我們機械所胡竹生所長也指示：「我們規劃不只做半導體廠，還必須把能量，結合正在發展的各個產業，把半導體的成功經驗同步擴散並協助其它產業，除了國內得到提升，也促進全球化發展，把這個重要的技術登上國際舞台。」